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X-선 광전자분광분석기(XPS)

보유센터명 공동실험실습관
모델명 및 규격 AXIS SUPRA+ / 1
제작회사 및 국가 Kratos Analytical Ltd /
이용수가 기본이용료 - 100,000원
XPS Normal(원소 5개/시료) - 100,000원
XPS 추가(원소) - 10,000원
Depth profile(2시간, 원소 3개/시료) - 200,000원
Depth profile 추가(원소) - 40,000원
담당자 감경희 tel 055-213-2552 | email kamkh@cwnu.ac.kr
  • 원리 및 특징
  • 초고진공 상태에서 X-선을 시료에 조사하여 시료 표면층 원자로부터 방출되는 광전자들의 운동에너지를 측정하면 광전자를 시료로부터 방출하기 위해 필요한 결합에너지를 알 수 있다.
    XPS를 이용해 측정된 결합에너지는 원소의 고유한 에너지이므로 시료의 원소와 화학적 결합 상태를 알 수 있다.
  • 주요구성 및 성능
  • XPS, UPS, GCIS
    시료의 표면 조성 및 화학결합상태 분석
  • 이용분야
  • 금속, 촉매, 반도체, 세라믹, 박막 등
    고체표면과 계면의 구성원소 및 화학적 결합상태 측정
  • 특성화분야
  • 금속, 촉매, 반도체, 세라믹, 박막 등