보유장비
| 보유센터명 | 공동실험실습관 |
|---|---|
| 모델명 및 규격 | AXIS SUPRA+ / 1 |
| 제작회사 및 국가 | Kratos Analytical Ltd / |
| 이용수가 |
기본이용료 - 100,000원 XPS Normal(원소 5개/시료) - 100,000원 XPS 추가(원소) - 10,000원 Depth profile(2시간, 원소 3개/시료) - 200,000원 Depth profile 추가(원소) - 40,000원 UPS, ISS, AR XPS(1시간/시료) - 200,000원 추가(시간) - 50,000원 |
| 담당자 | 감경희 tel 055-213-2552 | email kamkh@cwnu.ac.kr |
- 원리 및 특징
- 초고진공 상태에서 X-선을 시료에 조사하여 시료 표면층 원자로부터 방출되는 광전자들의 운동에너지를 측정하면 광전자를 시료로부터 방출하기 위해 필요한 결합에너지를 알 수 있다.
XPS를 이용해 측정된 결합에너지는 원소의 고유한 에너지이므로 시료의 원소와 화학적 결합 상태를 알 수 있다.
- 주요구성 및 성능
- XPS, UPS, GCIS
시료의 표면 조성 및 화학결합상태 분석
- 이용분야
- 금속, 촉매, 반도체, 세라믹, 박막 등
고체표면과 계면의 구성원소 및 화학적 결합상태 측정
- 특성화분야
- 금속, 촉매, 반도체, 세라믹, 박막 등