보유장비
| 보유센터명 | 공동실험실습관 |
|---|---|
| 모델명 및 규격 | JSM-6510 / 1 |
| 제작회사 및 국가 | Jeol / 일본 |
| 이용수가 |
기본이용료 - 0원 시료(/갯수):교외만 적용 - 10,000원 EDS(/point), Image(/장) - 4,000원 SEM&EDS(/시간) - 60,000원 전도성코팅(/회) - 10,000원 SEM(/시간) - 40,000원 |
| 담당자 | 성창훈 tel 055-213-2555 | email sch@cwnu.ac.kr |
- 원리 및 특징
- 1. 주사전자현미경은 전자선 Electron Beam을 시료의 표면에 주사하여 전자선이 한 곳에 집중되면 1차 전자만 굴절되고 표면에서 발생된 이차전자와 반사전자를 수집하여 그 신호들을 형상화시키는 전자현미경
2. 이차전자와 후방산란전자의 강도를 영상화시켜 미시영역 관찰이 가능하게 한 대표적인 표면 분석 장비
- 주요구성 및 성능
- ① Resolution : 3.0 nm guaranteed at high vacuum mode or better
② Magnification : 7× to 300,000× Digital indication or wider
③ Image mode : Secondary electron image (SEI)
High sensitivity semiconductor
Backscattered electron image(BEI)
3modes; composition, topographic, mixing(Option)
- 이용분야
- 1) 금속, 재료, 반도체, 섬유 및 고분자 물질 등 광범위 시료의 미세구조 관찰 및 성분 분석
2) 미생물과 금속, 재료 등 미세입자(powder)의 표면 미세구조 및 형상 관찰
3) 동,식물 세포의 미세구조 관찰
4) 반도체 등의 박막 두께 측정
- 특성화분야