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전계방사형 주사전자현미경(FE-SEM)

보유센터명 공동실험실습관
모델명 및 규격 CZ/MIRA I LMH / H.S. Code : 9012.10.1000
제작회사 및 국가 TESCAN / 체코
이용수가 기본이용료 - 0
SEM(/시간) - 50,000원
SEM&EDS(/시간) - 70,000원
전도성코팅(/회) - 10,000원
시료(/갯수):교외만 적용 - 10,000원
EBSD(/map) - 5,000원
EDS(/point), Image(/장) - 4,000원
SEM&WDS(/시간) - 80,000원
SEM&EBSD(/시간) - 80,000원
담당자 성창훈 tel 055-213-2555 | email sch@cwnu.ac.kr
  • 원리 및 특징
  • 1. 주사전자현미경은 전자선 Electron Beam을 시료의 표면에 주사하여 전자선이 한 곳에 집중되면 1차 전자만 굴절되고 표면에서 발생된 이차전자와 반사전자를 수집하여 그 신호들을 형상화시키는 전자현미경임
    2. 이차전자와 후방산란전자의 강도를 영상화시켜 미시영역 관찰이 가능하게 한 대표적인 표면 분석 장비
  • 주요구성 및 성능
  • 1. Resolution
    - SEI Resolution : < 1.5 nm at High Vacuum Mode SEI
    - BEI Resolution : < 2.5nm at High Vacuum Mode BEI
    2. Magnification at 30kV
    - x12 ~ x900,000 ( Continueously x1 steps at any magnification )
    3. Min. Magnification
    - Fish Eye Mode for less than x4 observation
    4. Accelerating voltage
    - 500 V to 30kV  
    5. Electron Gun
    - High Brightness Thermal Schottky Emitter
    6. Probe Current
    - 2 pA to 20nA  
    7. Stigmator Type
    - Eight pole electromagnetic
    - Automatic Stigmation Control as Standard
    8. Dynamic focus/Tilt Correct
    - Tilt corrention from 0 to 85 deg correctable
    9. Focus Wobble
    - To assist the operator to optimize the aperture position with adjustable amplitude and speed.
    10. Beam Shift
    - Range : + . - 50㎛
    11. Special Image Observation Mode
    - Resoultion, Field, Depth, Fish-Eye, Rocking Mode
    - Resolution Mode : Provides the highest resolution for the chosen working conditions.
    - Field mode : allows an extra large field of view
    - Depth mode : Provides enhanced depth of focus.
    - Fish - Eye mode : Provides a "macro" view of the sample.
    12. 4 Lens(CL1/CL2/IML/OL) Wide Field Optics with Intermediate Lens
  • 이용분야
  • 1. 속, 재료, 반도체, 섬유 및 고분자 물질 등 광범위 시료의 미세구조 관찰 및 성분 분석
    2. 생물과 금속, 재료 등 미세입자(powder)의 표면 미세구조 및 형상 관찰
    3. 동,식물 세포의 미세구조 관찰
    4. 반도체 등의 박막 두께 측정
  • 특성화분야